Метод Лелі
Метод Лелі, також відомий як процес Лелі або техніка Лелі — це технологія вирощування кристалів, яка використовується для виробництва кристалів карбіду кремнію для напівпровідникової промисловості. Патент на цей метод був поданий у Нідерландах у 1954 році та в Сполучених Штатах у 1955 році Яном Ентоні Лелі з Philips Electronics.[1] Згодом патент був виданий 30 вересня 1958 року, потім був уточнений Д. Р. Гамільтоном та ін. в 1960, В. П. Новікова і В. І. Іонова в 1968.[2]
- ↑ US 2854364, Lely, Jan Anthony, "Sublimation process for manufacturing silicon carbide crystals", published 1958-09-30, assigned to North American Philips Co., Inc.
- ↑ Byrappa, Kullaiah; Ohachi, Tadashi (2003). Crystal Growth Technology. Springer Science & Business Media. ISBN 9783540003670. Retrieved 10 September 2018.
