لیگا
LIGA یا LiGA کوتاه شده کلمات آلمانی مراحل این فرآیند ساخت یعنی Lithographie، Galvanik، Abformung (لیتوگرافی، آبکاری، قالب‌ریزی ) است. LIGA
یک روش برای تولید قطعاتی با ساختار میکرومتری است. کوجکترین بعد ساختار تولید شده با این روش می‌تواند تا ۰/۲ میکرومتر طول و ارتفاعی تا ۳ میلیمتر و نسبت ابعادی تا ۵۰ داشته باشد. با این روش می توان قطعاتی از جنس پلاستیک، فلز یا سرامیک ساخت. [۱]
LIGA در فن آوری ساختار میکرو و به ویژه میکرو اپتیک و اکثرا در مواقعی که به نسبت ابعاد بالا نیاز است استفاده می شود. این روش در اوایل دهه ۸۰ میلادی در مرکز تحقیقات هسته ای سابق کارلسروهه در یک تیم به مدیریت ولفگانگ ارفلد و اروین ویلی بکر برای تولید قطعاتی با کاربرد در یک روش غنی سازی اورانیوم ایجاد شد.
فرآیند ساخت
- ↑ E. W. Becker, W. Ehrfeld, P. Hagmann, A. Maner, D. Münchmeyer: Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding (LIGA process). In: Microelectronic Engineering. 4, No. 1, 1986, p. 35-56 (doi:10.1016/0167-9317(86)90004-3).